微电子、光伏产业主要用于LED芯片、支架清洗,祛除有机物和颗粒物;COB金线绑定前处理;IC方面BGA、Wafer表面清洁;LCD涂导电胶前处理;太阳能光伏、液晶玻璃中基板清洁;高分子材料改性;金属表面氧化物祛除。 医疗行业中培养皿处理、医疗器械消毒等等......... 系统执行元件: 1、气路元件:日本SMC、德国FESTO、美国AMISCO。 2、气体质量流量计:日本HORIBA、德国HKC、美国洛蒙斯特、ABB、艾默生。 3、电路控制:瑞士ABB,德国施耐德,日本三菱、德国西门子。 4、真空管路:全306不锈钢、硬质合金钢。 5、高频功率管:德国西门子。 操作模式:自动、手动。 工艺气体通道:标准4路。(可定制) 等离子发生器:40KHz高频电源、美国MKS13.56MHz射频电源。 真空机组:日本爱发科油式真空机组、英国爱德华干式真空机组、德国普发真空
